
職稱 | 榮譽教授 |
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姓名 | 萬其超 Chi-Chao Wan |
聯絡電話 | 03-5719036 |
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研究專長 |
利用電化學表面處理技術在印刷線路板與半導體元件之製造。 ■積體電路晶圓的表面處理 利用電化學的分析與理論,研究積體電路銅內連線無孔非等向性電鍍的製作,例如:電鍍程序、電流波形、電鍍添加劑的研究以及電化學模擬等。 ■印刷線路板的表面處理 本實驗室係利用非氨系蝕刻液來取代傳統之氨銅蝕刻液,以不易揮發之錯合劑取代氨水,並利用其對銅面之吸附行為,抑制側蝕之發生,造成護岸效果以達到良好之線路製作。 ■直接電鍍 為取代無電鍍製程,本實驗室研究亦如何能在非導體上面沉積金屬及其機構。 |
國家 | 學校名稱 | 系所 | 學位 |
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台灣 | 國立台灣大學 | 化學工程系所 | 學士 |
美國 | 哥倫比亞大學 | 化學工程系所 | 碩士 |
美國 | 哥倫比亞大學 | 化學工程系所 | 博士 |