萬其超 Chi-Chao Wan
退休教授
職稱 榮譽教授
姓名 萬其超 Chi-Chao Wan
聯絡電話 03-5719036
電子郵件 ccwan@mx.nthu.edu.tw
研究專長 利用電化學表面處理技術在印刷線路板與半導體元件之製造。

■積體電路晶圓的表面處理

利用電化學的分析與理論,研究積體電路銅內連線無孔非等向性電鍍的製作,例如:電鍍程序、電流波形、電鍍添加劑的研究以及電化學模擬等。

■印刷線路板的表面處理

本實驗室係利用非氨系蝕刻液來取代傳統之氨銅蝕刻液,以不易揮發之錯合劑取代氨水,並利用其對銅面之吸附行為,抑制側蝕之發生,造成護岸效果以達到良好之線路製作。

■直接電鍍

為取代無電鍍製程,本實驗室研究亦如何能在非導體上面沉積金屬及其機構。
國家 學校名稱 系所 學位
美國 哥倫比亞大學 化學工程系所 博士
美國 哥倫比亞大學 化學工程系所 碩士
台灣 國立台灣大學 化學工程系所 學士