年度 2018
全部作者 陳信龍 Hsin-Lung Chen,Chen, M.-H.; Lai, C.-C.; Chen, H.-L*.; Lin, Y.-H.; Huang, K.-Y.; Lin, C.-H.; Hsiao, H.-T.; Liu, L.-C.; Chen, C.-M.
論文名稱 Preparation of photosensitive polyimides (PSPIs) and their feasible evaluation for lithographic insulation patterns (LIPs) of integrated circuits (ICs) without negative photoresists.
期刊名稱 Materials Science in Semiconductor Processing
卷數 88
頁碼 132-
語言 英文